依據(jù)美國聯(lián)邦政府頒布的標(biāo)準(zhǔn)【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數(shù)目來敘述，則可假設(shè)塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應(yīng)以在一特定塵粒尺寸的級數(shù)來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵

室之潔凈度必須優(yōu)于1000級。

一、什么是無塵室

無塵室(Clean Room)，亦稱為無塵室或清凈室。它是污染控制的基礎(chǔ)。上海奧宣鋼結(jié)構(gòu)有限公司其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃墑e。無塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、經(jīng)典控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計之房間。

將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內(nèi)之空間。此處所指

之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及粒子，且指一般空氣清凈機(jī)無法完全清除之灰塵。

無塵室一般分為電子、精密工業(yè)用Industrial Clean Room（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產(chǎn)業(yè)用Biological Clean Room（BCR）。

二、聯(lián)邦規(guī)格無塵室等級

現(xiàn)今一般多奉行與美國所制定的聯(lián)邦規(guī)格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子

限制值的NASA規(guī)格（美國航空署5340.2規(guī)格）。其Fed.std清潔度的表示法為：1ft3空氣中，含有多少個0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級○○]。

例如：空氣中含有10個0.5以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。

三、在JIS標(biāo)準(zhǔn)下，無塵室清潔度，共分為8個等級

一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2•••8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，一次類推。21世界，最尖端產(chǎn)業(yè)的發(fā)展，加速了產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)的變革，無塵室設(shè)立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導(dǎo)致品質(zhì)低下。伴隨商品的高品質(zhì)要求，環(huán)境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中用防塵材料及商品都顯得格外重要。

所謂的無塵室是一個人造的環(huán)境，里面含有的粒子遠(yuǎn)低于一般的環(huán)境，隨著集成電路的級數(shù)的快速成長，也增加了對制造環(huán)境(無塵室)潔凈度要求，在工業(yè)上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產(chǎn)品的運(yùn)作或降低其壽命。優(yōu)于納米技術(shù)的興起，造成半導(dǎo)體關(guān)鍵尺寸持續(xù)縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當(dāng)金屬塵粒落到金屬導(dǎo)線時，就可能會使金屬導(dǎo)線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導(dǎo)線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。

下圖為我司蘇州凈雅無塵室圖片：

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