芯片無塵室的超凈服介紹
在芯片生產(chǎn)車間，工作人員通常需要穿著超凈服以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和純度。這種服裝的設(shè)計(jì)主要是為了防止工作人員的身體表面或呼出的空氣對微型電子元件的制造環(huán)境產(chǎn)生污染。超凈服通常被稱為Cleanroom Suit" 或者 "Bunny Suit"，做半導(dǎo)體制造的小伙伴應(yīng)該對超凈服比較熟悉，但是你確定自己懂它嗎？
超凈服，是由英特爾Fab工廠率先提出，其歷史可以追溯到1968年。當(dāng)時(shí)的芯片無塵室內(nèi)工作人員穿著自己的衣物，并且環(huán)境并非無菌的。甚至有人會(huì)把比薩餅放在擴(kuò)散爐上烘烤加熱。到了1971年，Intel的Fab 2工廠要求員工穿著專用罩衣，但不需要頭套或護(hù)腿。員工可以把它們帶回家洗，這種做法在常規(guī)清潔度上可能足夠，但卻無法防止小顆粒污染微芯片。更嚴(yán)格的清潔服裝協(xié)議始于1973年，Intel的Fab3工廠普及了我們目前熟悉的現(xiàn)代超凈服，并在1980年成為Intel公司的標(biāo)準(zhǔn)，隨后在全球范圍內(nèi)流行開來。
常見材質(zhì)為聚酯。超凈服所用的聚酯材料是一種常見的聚合物，主要由聚酯纖維制成。聚酯是一種大分子聚合物，由酯基連接的單體重復(fù)單元組成。酯基是一個(gè)化學(xué)功能團(tuán)，由一個(gè)羰基（C=O）和一個(gè)氧原子（-O-）組成，形式為 -COO-。最常見的聚酯是聚對苯二甲酸乙二醇酯（PET）。
1. 耐磨：聚酯是一種非常耐磨的材料，其強(qiáng)度比自然纖維高。2. 耐化學(xué)品：聚酯對大多數(shù)常見的工業(yè)化學(xué)品具有很好的抵抗力，包括酸，堿和有機(jī)溶劑。這使得它在需要接觸化學(xué)品的環(huán)境中非常有用。
3. 易洗：聚酯纖維的另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是它易于清洗，可以在機(jī)器中洗滌，且不易皺。此外，它可以在高溫下清洗，這對于保持超凈服的潔凈至關(guān)重要。4. 防靜電：聚酯本身可能會(huì)產(chǎn)生靜電，但是超凈服的聚酯材料通常會(huì)摻入防靜電纖維或者涂覆有防靜電劑，以降低靜電積累。超凈服防止靜電積聚的一種重要方式是通過地面接地系統(tǒng)，將人體產(chǎn)生的靜電導(dǎo)入大地。在芯片生產(chǎn)車間，員工通常需要穿戴特別的防靜電鞋或鞋套。這些鞋子或鞋套是由導(dǎo)電材料制成的，可以將人體產(chǎn)生的靜電從人體導(dǎo)入到地面。工作區(qū)通常會(huì)安裝防靜電地板。這種地板是由導(dǎo)電材料制成的， 防靜電地板會(huì)通過地線與大地連接，形成一個(gè)接地系統(tǒng)。這個(gè)接地系統(tǒng)可以將靜電有效地導(dǎo)入大地，從而防止靜電在工作區(qū)域內(nèi)部積聚。
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